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雅科貝思 突破“不可能三角”——飛馬座運動平臺

雅科貝思 突破“不可能三角”——飛馬座運動平臺

產(chǎn)品簡介:

雅科貝思飛馬座運動平臺,以系統(tǒng)層面的正向設計,從材料、結(jié)構(gòu)、熱管理和運動控制等多個維度出發(fā),實現(xiàn)毫秒級整定、亞微米級精度,更將靜態(tài)抖動控制在納米級別,為半導體制造帶來了革命性的突破。

產(chǎn)品分類:

運動控制 其它

品牌:

產(chǎn)品介紹

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