輪胎壓力傳感器敏感元件的設(shè)計(jì)與研制
2009/7/31 12:25:00
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美國(guó)的NHTSA已出臺(tái)的TREAD法規(guī)引起新一輪汽車(chē)壓力傳感器應(yīng)用高潮和TPMS產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)熱潮。為了該產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)品種開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)，我們研制出了一種輪胎壓力傳感器芯片，它是采用基于MEMS技術(shù)的硅體微機(jī)械加工技術(shù)制造的，采用硅—硅真空鍵合大大縮小單元尺寸，有利于降低成本。已
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